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圓筒型臥式真空腔體



          放電清洗：
          放電清洗一般用于高真空、真空腔體清洗中。.放電清洗的作用取決于電機材料、真空腔體幾何形狀及其與表面的關系。利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的去掉。


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