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           氮氣清洗

           氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、真空腔體吸留時間短,容易被抽走的特性，用氮氣沖洗被污染的真空系統，同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統的抽氣時間。