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           氦質譜檢漏

           該檢漏方法是真空檢漏領域里不可少的一種技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空檢漏中得到了很多應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。真空腔體由分析器、離子源、分析器、冷陰電離規、收集器組成的質譜室和抽氣系統及電氣等部分組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉，進而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收而被檢測到。其中呢，噴氦法和吸氦法是氦質譜檢漏常用的兩種方法。